阿斯麦光刻设备技术服务（无锡）基地项目签约仪式现场（余磊 摄）

5月14日，从江苏省无锡市传出一条消息：当天，无锡高新区管委会与阿斯麦（ASML）公司正式签署了战略合作协议，后者将在原有基础上对资源进行整合提升，加速扩建光刻设备技术服务（无锡）基地。

记者了解到，这是阿斯麦与无锡第二次“握手”。2006年，阿斯麦公司在无锡布局建立光刻设备技术服务基地，经过多年的“深耕细作”，如今，阿斯麦无锡基地是中国规模最大的光刻设备技术服务基地，成为华虹、SK海力士等一批重点集成电路企业光刻机的供应商。

那么，此次阿斯麦实施（无锡）基地升级扩建，到底有着怎样的计划和目的？对于我国集成电路产业基地，又将会带来哪些新变化？

项目扩建

有着非同一般的重要意义

江苏省半导体行业协会相关人士告诉记者，光刻设备是发展集成电路产业的重要核心。总部位于荷兰的阿斯麦，是全球芯片制造设备领导厂商，并且是芯片光刻技术的领导者。几十年来，阿斯麦凭借在光刻机制造领域成熟的先进技术优势，垄断了光刻机市场 。

尤其近10年来，随着国际集成电路产业的快速发展，国际上许多国家由于缺乏光刻设备关键性技术，都只能从荷兰进口光刻机。目前，在光刻机领域，我国集成电路生产企业仍需通过进口来满足产业发展的迫切需求。

无锡成功引入的阿斯麦光刻设备技术服务（无锡）基地，重点涵盖两大业务板块：面积约2000余平米，拥有近200人规模专业团队的技术中心，从事光刻设备的维护、升级等技术服务，面积约2000余平米的供应链服务中心，为客户提供高效的供应链服务，为设备安装，升级及生产运营等所需的物料提供更高水准的物流支持。

项目建成后，将进一步提高服务能力，更好地满足当地集成电路产业的发展需求，帮助客户在持续提升芯片价值的同时降低制造成本。

在一些业内人士看来，目前，我国集成电路产业正处于一个非常时期。阿斯麦光刻设备技术服务（无锡）基地的引入与此时扩建，有着非同一般的重要意义。

强强合作

加速补上我国产业“短板”

无锡市政府相关领导介绍，江苏省无锡是我国政府最早布局的集成电路产业基地之一，也是我国集成电路产业发展的一个缩影。近年来，在国家和地方政策的重点支持下，无锡先后引入华虹基地、海力士二工厂等一批重大产业项目。去年，全市集成电路产业产值达到1178亿元，增长8.3%，位居全省第一、全国第二。

目前，尽管无锡集成电路产业在国内起步早，并形成了一定的产业规模，但在集成电路产业的上游，无论是光刻设备，还是集成电路设计和高端电子化学品方面，仍是一条“短腿”，亟待补齐产业链，提升产业自主创新力和国际竞争力。

“光刻设备服务基地升级将强化我们和客户的协作，快速回应客户需求，不断提升对客户服务的水准。” 阿斯麦全球副总裁、中国区总裁沈波说，我们期待与半导体产业的合作伙伴一起，开发更多智能科技，应用到惠及民生的各行各业。

“我们提供创新的产品和服务来帮助芯片制造商不断微缩芯片。”沈波说，我们不断提高产品的性能，以帮助客户持续提升芯片价值并降低成本。致力于让芯片的性能更强大、价格更合理，进而促使半导体技术能更广泛的应用于医疗、能源、通讯和娱乐等相关产品与服务中。

无锡市政府副市长、高新区党工委书记蒋敏认为，无锡有良好的产业基础，阿斯麦有着核心技术，通过双方强强合作，加速推进阿斯麦光刻设备基地扩建项目 ，将有助于加速无锡集成电路产业的强链、补链和延链，更加推动我国集成电路产业向总部化、高端化发展。

来源：科技日报 文中图片由作者提供  余磊 科技日报记者 过国忠