“我们建议政府建立自己的工厂。因为不可能让中国的生产变得更加困难，而不自己创造替代方案......阻止别人生产你需要的东西是没有意义的”。连日来，ASML前后两任CEO温宁克（Peter Wennink）和福凯（Christophe Fouquet）公开批评对华半导体技术管制，清晰传递出这家光刻机巨头面对产业“大环境”的无奈与不甘。与此同时，一手塑造着“大环境”的美国官方，却仍在兴致勃勃地合纵连横，酝酿更多制裁措施，试图将这张出口管制罗网编制得更加细密。在近期一次采访中，美国商务部长雷蒙多（Gina Raimondo）明确宣告：“他们（中国）不可以拥有我们最先进的AI芯片或者制造设备......我们会持续更新监管以确保美国的安全”。（They cannot have our most sophisticated leading-edge AI chip,or the equipment that makes those chips）一面是变本加厉的长臂管辖，一面是如火如荼的中国市场需求，在钢丝上苦苦寻找平衡的“光刻巨人”，恐怕还需要忍受很长一段时间，直到始作俑者梦醒时分。01.我们在听着，杰瑞ASML不会想到，今时今日正中眉心的子弹，与四十年前的自己也有着深远的联系。1985年，这家初出茅庐的荷兰小公司，正在为如何打入美国市场而焦虑，尽管对自己的研发能力颇具信心，但在极其讲究“眼见为实、做熟不做生”的半导体设备市场，ASML面临着许多和今天中国同行相似的烦恼：没有出货实绩难以打动客户，没有客户反馈又无法迭代产品，有限的起步资金则随着公司运营快速消耗。幸运的是，骤然升温的美日“半导体战争”，为ASML带来了穿越死亡之谷的机会。这一年，AMD创始人杰瑞·桑德斯在某行业会议上火力全开，对美国国产半导体设备质量大加抨击，警告称物美价廉的日本光刻机将横扫市场。桑德斯的“暴论”，立即引起了ASML美国营销主管查克·罗伯茨注意，随着美日半导体产业竞争被日益注入意识形态色彩，纯正的西欧“血统”，无意间为ASML开拓美国市场带来了独特优势。罗伯茨兴奋地表示：“桑德斯把GCA和Perkin-Elmer（两大美国光刻机厂商）骂得狗血淋头，他又不想被迫购买日本货，这就是我们的机会！”意识到这一点的ASML，迅速在行业媒体投放了一轮定向广告，标题为《我们在听着，杰瑞》，内容则是逐条介绍其产品与桑德斯诉求的契合。（桑德斯的姿态，很大程度上源于AMD此时的经营困境，以至于业界预计其很快将会与国家半导体一样被收购）这篇广告，成为ASML打进AMD供应链的第一块敲门砖，经过商务谈判和样机比选的一次次考验，甚至使出半夜翻墙潜入客户工厂抢修的奇招，ASML最终赢得了AMD批量订单，拿下第一个重量级客户。这一突破，也标志着其在光刻机市场初步站稳脚跟，度过了最为脆弱的草创阶段。主动迎合美国市场需求，就此成为ASML早期发展的一条主线，这份殷勤也为其带来了丰厚回报，从接盘SVG进而撬动英特尔订单，到加入EUVL、收购Cymer、“绝杀”尼康专利侵权诉讼，无不与美国提供的“方便”息息相关，也均成为ASML发展史上的关键助推。不过经历次贷危机洗礼后，随着全球半导体产业重心向东北亚加速转移，ASML与美国合作伙伴之间逐渐出现了意味深长的地位逆转，其乐于俯首倾听的大客户，也悄然换成了东亚面孔。2012年，为彻底解决EUV光源开发问题，完成对Cymer公司收购，ASML发起了所谓的客户共同投资计划，向英特尔、三星与台积电定向增发融资，其中英特尔认购股数独占鳌头，超过了三星、台积电总和。为这批没有投票权的股票砸下真金白银，足见英特尔“诚意”。更重要的是，英特尔此举还对业界释放了坚定站队的信号，彻底熄灭了尼康等日本厂商坚持跟进EUV光刻机的信心。然而2013年7月，在ASML策划下举行的晶圆制造“三巨头”会议，却宣告了英特尔力推的18英寸技术突然死亡，成为半导体产业主导权“东升西降”的标志性事件。当时沮丧退场的英特尔老将比尔·霍特（Bill Holt），心中或许对ASML也会生出一丝“来骗、来偷袭”的感慨。自认为已羽翼丰满的ASML，最终还是没能挣脱束缚自由的枷锁。2020年以来，在马瑟尼（Jason Matheny）、查布拉（Tarun Chhabra）、可汗（Saif Khan）等与硅谷“长期主义者”圈子渊源深厚的“师爷”操纵下，一场新瓶装旧酒的中美“芯片战争”已被成功挑动，全球化黄金时代无往不利的弄潮儿们，蓦然发现自由贸易的游戏规则已被制定者抛弃。从“半导体战争”到“芯片战争”，四十年轮回间，家大业大的ASML已不再是趁手的飞刀，而是成为猎物本身。当然，美式“市场经济”看得见的大手也同样没有放过三星和台积电，为了满足“伙伴”的胃口，两大代工巨头在美规划的5纳米以下高端芯片产能已接近每月10万片。这一数字，本身就宣示着赤裸裸的“刨根”阳谋。一个反直觉的事实是，在目前全球半导体制造业合计约每年1亿片12英寸晶圆（折算数）的产能中，需要用到EUV光刻机的5纳米以下节点逻辑芯片，占比仅为1%左右，并且在可预见的未来，这个比例并不会有数量级的变化。在“紧平衡”的高端产能供给格局中，台积电得以从容调控定价，享受半导体制造这块蛋糕上最肥美的奶油，然而随着足以承接全部需求的美国新增产能成形，却必然将击碎这一格局，台积电与高端客户间的议价能力将出现逆转。面对这样的险境，两大东亚代工巨头却甚至连ASML式的抱怨也不敢声张。02.宝路华的隐喻尽管已经把产业链“卡脖子”节点（chokepoint）整肃一新，但试图对中国复制当年“半导体战争”的辉煌胜利，注定只是美国朝野一场春梦。在半导体领域，美国所设定的“芯片战争”目标与其能力间存在着深刻脱节，一言以蔽之，这场强加的“战争”，既挡不住中国半导体产业发展，也成就不了美国高端制造业复兴的幻想。诚然，长臂管辖干扰了中国先进制程工艺发展节奏，从美国官方到各国媒体，也普遍将“中国落后几代制程”、“EUV什么时候突破”、“EUV差距多少年”等议题作为讨论的核心。然而正如前文所述，这样的讨论存在着巨大盲点，高端芯片的极低产能占比，意味着与其在这道“附加题”上苦苦较劲，还有很多更重要、更紧急的“基础题”需要答好。客观来看，经历狂风暴雨洗刷，中国半导体产业生态发育已大为改观，从设备材料到特色工艺、产品品类，越来越多空白点得到填补，海外厂商近年来“拱手相让”的优质客户，为本土供应商提供了以往不敢想象的导入机会，生态网络的横向、纵向联系显著加深。中国集成电路创新联盟秘书长叶甜春，近期就分享过这样一组半导体材料国产化进展：12英寸45-28纳米工艺用材料品种覆盖率超过70%；先进存储工艺用材料品种覆盖率超过75%；大硅片产品取得全面突破，实现对国内FAB厂主要工艺的全覆盖；光刻胶取得突破性进展，i线胶市占率超过20%，KrF胶市占率达10%，ArF干式胶开始批量应用，部分品种ArFi浸没式胶开始小批量应用；溅射靶材实现对国内FAB厂的全面供应，部分产品国际市场占有率超过40%；本土企业已成为CMP抛光材料、特种电子气体、工艺化学品的主力供应商；传统封装用主要材料实现自主供应......先进制程这颗大树之外，中国半导体产业的整片森林已大为繁茂。当然，我们还远未到可以弹冠相庆的时候，纵观7纳米及以上制程产业生态，各节点从无到有、从有到优的进程还任重道远，但无论如何，从资源到应用，主动权已牢牢掌握在中国人自己手中，半导体产业不屈不挠的努力，必将稳步地达到自己的目的。至于先进制程的追赶，一方面，我们的确需要正视其难度，少一些喋喋不休的“鸡血”，以EUV光刻机为例，其LPP光源就涉及到激光器和锡液滴发生器、收集镜三大工程挑战，ASML旗下Cymer的突破，相当程度上受益于LLNL等美国国家实验室在惯性约束聚变上的知识积累，这也是美国对ASML长臂管辖的底气所在，而中国工程团队想要借鉴现有系统框架，则面临着气体激光器研究人才断档等一系列现实问题。但另一方面看，即便获得蔡司、通快（Trumpf）等核心供应商全力支持，ASML从启动EUV光刻研究到向大生产线交付产品，也历经了整整二十年磨难，然而LPP-EUV可供挖掘的技术潜力，却未必能支持后来者有同样的二十年时间打磨迭代。强行拉升数值孔径的Hyper-NA EUV，面临焦深过小和掩膜三维效应等多重制约，光刻技术体系的又一次大变局或许将在追赶的中途发生。目前从IRDS路线图更新看，自由电子激光（FEL）或许最有希望成为下一代6.X纳米光刻光源的基础，而在这个少有公众关注的领域，中国研究者的创新能力并不逊色于欧美同行。我们在这条潜在赛道上的竞争力，不仅体现在FEL大装置规格和数量上，2021年，中国科学院上海光学精密机械研究所强场激光物理国家重点实验室，更是在基于激光加速器的小型化自由电子激光研究上取得突破性进展，率先完成台式化自由电子激光原理实验验证，确立了我国在该领域的全球领跑地位。（领跑全球的我国小型化FEL技术）总之，面对横亘在光刻极限前的道道难关，我们的攻坚不仅需要埋头苦干，更呼唤着因地制宜、因时制宜的“巧干”。至于“芯片战争”的另一大目的，即带动高端制造业复兴，美国商务部长雷蒙多对此有一段直白的解说：“我们将让制造硬件再次变得性感起来。在美国制造硬件，获得一份体面、光鲜、高薪的工作不好么？我们所有人将共同重建我们的工业基础，增强美国的创新能力，创造数十万个高薪工作”。雷蒙多的梦想，源于其儿时经历，在那段被她讲述过许多遍的故事里，制表商宝路华（Bulova）把工厂搬去中国，生生摧毁了制表工人们聚居的社区。她所提到的宝路华，曾在石英表技术发展史上做出过奠基性贡献，然而就是这样一家掌握独门技术的企业，反而在产业化上逐渐掉队，最终在所谓“石英危机”中被迫变卖。细究宝路华的历史，击倒它的其实不是来自中国或者日本的竞争，而恰恰是怀念着旧日好时光的美国人自己，“高薪工作”与制造业成本体系的刚性下降趋势之间，存在着难以调和的内在张力。宝路华，正是美国制造业命运的一个隐喻。03.收收味吧，反思怪们对于ASML和其他半导体产业界言辞恳切的呼吁，在中文舆论场上却始终回荡着一种难以理解的声音，为野蛮粗暴的美式管制欢呼叫好，话里话外暗示中国企业的遭遇是有错在先，从而招致“文明世界”被迫回击，“为啥不欺负别人只欺负你”的乡愿式解读大行其道。在点化群氓、深刻反思之前，这些洞悉天下事的“文化人”，大有必要先对自己的“精神祖国”补上一些通识。上世纪八十年代旷日持久的美日贸易战、技术战里，美国人早已展示过“文明世界”的底色。1982年，一位年轻华裔技术员陈果仁之死震惊全美，仅仅因几句口角，两名素昧平生的底特律汽车工人就用棒球棍将他殴打致死，被误认成日本人的陈果仁，不幸成为凶手对日本汽车工业仇恨的发泄对象。事后，美国法官判处凶手三年缓刑和3000美元罚款，判词中理直气壮地写道：“你不能让惩罚与罪行相称，你应该让惩罚与罪犯（品行）相称”。同样在这一时期，被不断打磨塑造的“日本威胁论”，激发不少小镇商店主挂出了“日本人禁止入内”（No Japs Allowed）的标牌；一家俄亥俄州小诊所为员工购买美国国产品牌汽车提供400美元补贴，“Buy American”运动随即风靡一时，从理发到加油，开国产车的顾客总能得到打折待遇，甚至交通违章，也能因法官的“同情分”而获宽宥；洛杉矶地铁试图采购日本制造的车组，则引起了潮水般的电话“网暴”......对这样的海量“个案”，某些国内文人大概是不敢将之扣上“义和团”大帽的。相比这种基层涌动的“民气”，美国精英阶层的表现同样令人印象深刻。劳联-产联负责人柯克兰（Lane Kirkland）毫不遮掩地表示：“听到日本人恳求自由贸易，就像是从妓女的嘴里听到‘爱’这个词一样”；众议院大佬布鲁克斯（Jack Brooks）直言，杜鲁门只向日本投下两颗核弹是一个遗憾，“他本应该投四颗”，更多国会议员则在考虑对所有日本进口商品征收25%的关税；在经济界，知名学者劳伦斯·萨默斯承认“现在认为日本对美国的威胁比苏联更大的多数美国人可能是正确的”，《哈佛商业评论》主编艾伦·韦伯总结称：“与日本的冷和平正在取代与苏联的冷战”。在舆论场上，彼时的新锐华盛顿智囊们，给曼斯菲尔德等老一代国别研究专家戴上了“菊花亲吻者”（Chrysanthemum Kisser）的头衔，时而渲染“数百名华盛顿精英正领取日本津贴”的惊悚故事，时而描绘与贸易对手之间即将到来的军事冲突。当然，说到笔下千钧的功力，还得看传奇记者白修德（Theodore White）。在其发表于1985年的经典报道《来自日本的危险》中，白修德寥寥几笔就勾勒出日本半导体产业的旧账与新仇：“今年，通产省的主要目标显然是美国电子行业。去年美国对日电子贸易逆差超过了汽车贸易逆差，达到154亿美元。美国半导体行业正遭受攻击。日本人毫不留情地提出要抹杀美国在该行业的霸主地位，而这种优势正是基于我们自己的研究和发明。日立现在是电子产品出口商，在二战的最后两周，作为日本领先的武器制造商之一，它被我们的轰炸机炸成了碎片。但日立现在正在反击，其口气再次变得咄咄逼人。该公司正试图从英特尔和AMD手中夺走半导体市场”。与此同时，白修德以惊人的坦率与冷峻，解剖了美利坚民族焦虑的根源：“如果全世界所有人都享有同等的自由贸易权，那么那些工人感激微薄工资的国家可以征服美国等发达国家的市场，而美国工人要求的工资是世界上最高的。亚洲的生活水平必须提高，否则我们的水平就会下降，直到达到平衡......日本的后面是“四小龙”，中国和印度则紧随其后，它们迫切希望提高生活水平—必要时，不惜牺牲美国人的生活水平......所有国家都想效仿日本，不惜牺牲美国的就业机会，良心不允许美国人排斥世界上那些努力改善自己生活的穷苦人，但常识不允许我们走一条以我们的贫困为代价让他们改善生活的道路......日本人也享有同样的和平，在我们的保护下，几乎不用付出任何代价，却保留了将美国人的生计逼入绝境的权利”。正如白修德所袒露的，在某种美式思维里，美国式生活水平与后发国家工业化之间，就是存在着一根心照不宣的“高压线”。在当下改头换面的“芯片战争”表演中，不难看到对冷战末期脚本堪称像素级的抄袭。只要我们一天没有停下发展的脚步，像日本那样沉沦在“失去的XX年”，美国朝野的歇斯底里恐怕就一天也不会停歇。不过时移势易，这样的狭隘心理和霸道做法，在今天不仅无法阻挡中国科技自强之路，却反而会堵住如ASML之流的“伙伴”发展空间，有朝一日美国梦醒时分，ASML的统治性地位，恐怕也将一去不复返。文章来源于心智观察所，作者青岚
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