光刻机"禁运"危机！！

 

       为了阻挠中国的技术进步，美国的手越伸越长。

英国路透社6日引述多位不具名消息人士的话报道称，美国国务卿蓬佩奥亲正自游说荷兰政府，白宫官员还向荷兰首相分享了一份“机密情报报告”，展示中国获得该机器的“潜在影响”。

传美国将动用国家禁运令，阻止光刻机进入中国。台媒体称这个禁令长达3-5年，足可以延缓大陆半导体先进制程2代。

1月6日，荷兰半导体设备供应商ASML表示：无论有无美国发放的极紫外光光刻机（EUV）销售许可证，ASML都希望对华继续供应半导体设备，并希望2020年增加其产品在中国市场的销售份额。

但困难的是，在国家力量面前，这样的承诺恐怕没什么分量。

路透社的报道还揭露了美国“阻止敏感技术流向中国”的多重手段。根据现行规定，美国不仅限制本国企业向中国出售高科技产品，还要求第三国企业向中国出售高科技产品时，只要这些产品中美国制造零部件的比重超过货值的25%，都必须获得美国的许可。（台积电14nm以下制程由于多依靠美国技术，就面临断供华为的风险。）

而美国商务部对阿斯麦的EUV设备进行检查后发现，美国零部件的比重并没有达到25%。由于没有办法直接阻止出售，美国政府转而施压荷兰政府考虑“安全问题”。美国国防部官员多次会晤荷兰官员，讨论此次出售的“安全风险”。虽然荷兰商界要求放行该交易，但蓬佩奥2019年6月访问荷兰期间，呼吁吕特亲自阻止这一交易。

此前并未报道的高规格做法，表明了白宫对阻止中国获得制造世界上最快微处理器所需机器的重视程度。两名知情人士对路透社表示，美国的行动始于2018年，当时荷兰政府向半导体设备公司阿斯麦(ASML)颁发许可证，允许其向中国客户出售其最先进的设备。

三名消息人士对路透社表示，在接下来的几个月里，美国官员研究了是否可以直接阻止出售，并与荷兰官员进行了至少四轮会谈。

据一位知情的前美国政府官员透露，7月18日，在荷兰首相马克·吕特(Mark Rutte)访问美国期间，美国副国家安全顾问查尔斯·库伯曼向荷兰官员提出了这一问题。吕特收到了一份有关中国购买ASML技术可能产生的影响的情报报告。

这些压力起了作用。在访问白宫后不久，荷兰政府决定不再更新ASML的出口许可证，价值1.5亿美元的设备仍然没有发货。 

此前ASML从未公开披露过中国客户的身份，但日经(Nikkei)等媒体报道称，该中国客户就是中国最大的芯片制造专业公司中芯国际(SMIC)。

特朗普政府2018年至2019年展开强大攻势，企图阻挠荷兰阿斯麦(ASML）公司向中国企业出售一台价值1.5亿美元的EUV（极紫外光刻机）。

为此，美国国务卿蓬佩奥亲自游说荷兰政府，白宫官员还向荷兰首相分享了一份“机密情报报告”，展示中国获得该机器的“潜在影响”。

报道称，美国的游说活动始于2018年，此前荷兰政府向阿斯麦公司发放了向中国客户出售先进设备的许可。美国政府就此与荷兰官员至少进行了4轮会谈。路透社称，白宫的施压活动在2018年7月18日达到了顶点，当时美国副国家安全顾问查尔斯·库珀曼在荷兰首相吕特访美期间向荷兰官员提出了这个问题。“美国的施压似乎起作用了。”报道称，在访问白宫后不久，荷兰政府决定阿斯麦的出口许可证不予续期，该机器至今没有发货。

光刻机是制造芯片的核心装备。在芯片制造过程中，需要用光刻机把电路图“搬运”到晶圆片上。随着集成电路集成度越来越高，对光刻机的要求越来越苛刻，因此，光刻机也被誉为半导体制造业皇冠上的明珠。

 

2019年11月，《日经亚洲平论》就报道了阿斯麦公司推迟向中方企业交货的消息，并将此归因于美国的压力。报道称，购买这一设备的中国企业是中芯国际，阿斯麦公司不想让中国客户感到不安，因为中国是其增长最快的市场。该公司2018年16%的销售额来自美国企业，19%来自中国市场。据荷兰媒体6日报道，阿斯麦公司拒绝对路透社的报道置评，但确认之前的出口许可已经过期，目前正在等待新的许可。荷兰外交部发言人表示，荷兰政府拥有授予双重用途技术许可的主权裁量权，不会就具体案件发表评论。

中国通信行业专家项立刚6日对《环球时报》记者表示，目前全世界能够生产这种先进光刻机的，只有荷兰阿斯麦公司。因此美国政府的阻挠，对中方确实是打击。但是任何事物都有其两面性。中国企业并不是完全做不出光刻机，只是从商业原则看，直接购买比自主研发更合算。如果面临最极端的情况，彻底被美国卡住脖子，我们也有自力更生搞自主研发的能力。

 

去年6月，美国国务卿蓬佩奥访问荷兰，一边炒作中国“贸易不公”、5G的“安全问题”，一边要求荷兰等盟友站队。

他在记者会上说：“我们的要求是，我们的盟友、伙伴和朋友不要做任何危及我们共同安全利益，或限制我们分享敏感信息能力的事情。”虽然没有明确提到光刻机，但知情人士称，蓬佩奥在与荷兰首相吕特会面中要求阻止这笔交易。后者在记者会上回应，虽然荷兰想要与盟国保持政策一致，但“每个国家都必须做出自己的安全决定”。

7月18日，吕特访问华盛顿，期间白宫副国家安全顾问查尔斯·库伯曼向他展示一份情报报告，内容是所谓“中国获得光刻机的可能后果”。

早在6月30日，ASML的许可证就已到期，通常需要8周时间进行审批及续签。但吕特访问过后不久，荷兰政府决定不再续签这份许可证。ASML未出现在荷兰外交部数据库的续签名单上。

荷兰首相府发言人拒绝对此置评，称政府不会讨论单独的许可证案例。白宫以及库伯曼也没有回应置评。

 

11月6日，日经最先报道了相关交易因许可证问题被推迟发货的消息，并认为ASML成为美国政府压力下的“牺牲品”。

公司发言人摩尔斯回应，“延迟发货”仅为媒体猜测，已经申请了新的许可证，仍在等待获批。“公司遵守法律。法律说需要许可证才能出口EUV，我们已经申请了许可证。”

但不论有没有EUV光刻机，ASML预计2020年向中国出售其他产品，销售额会继续增长。外媒评论，此事显示白宫对于阻止中国获得先进芯片制造能力有多么重视，也证明美国政府试图单方面限制对中国出口先进技术时，面临着多么大的挑战。

西方国家限制向中国出口光刻机，是我国境内半导体工艺制程始终比境外落后1-2代甚至3代的主要原因。

去年4月，武汉光电国家研究中心甘棕松团队，采用二束激光在自研的光刻胶上突破了光束衍射极限的限制，采用远场光学的办法，光刻出最小9纳米线宽的线段。该样机实现了材料，软件和零部件等三个方面的国产化，打破了三维微纳光制造的国外技术垄断。（来源：全球时报，新浪科技）